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電子半導體行業廢氣治理
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電子半導體行業廢氣治理

2018-8-16



電子信息產業是研制和生產各種電子元器件、儀器、儀表和設備的工業,是軍民結合型工業,由電子元器件、電子儀器儀表、廣播電視設備、通信導航設備、雷達設備、電子計算機和其他電子專用設備等的生產行業組成。
自從人類進入信息時代以來,電子信息產業在人類社會發展中所扮演的角色越來越重要,引領著人類社會的加速變革與進步。與此同時,電子信息產業造成的污染也越來越嚴重,亟需治理。




電子信息產業中的芯片或線路板生產過程中往往涉及到清洗、均膠、刻蝕、顯影等工序,因此無法避免使用絕緣材料、溶劑、清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等。這些物質中含有的有機溶劑經揮發排放,成為有機廢氣,其主要污染物為苯、甲苯、二甲苯丁酮、乙酸乙酯等。這些有機廢氣對人體的危害極為嚴重,必須經過處理后才能排放到大氣中。




鑒于電子行業中的主要污染物為有機廢氣,故在治污選擇上應采用蓄熱式催化氧化(RCO)設備。
廈門愛迪特環保蓄熱式催化氧化設備擁有設計獨特的先進高效的熱交換系統和配套的催化凈化體,其中發生的反應是典型的氣—固相反應,是活性氧參與的深度氧化反應。在催化氧化過程中,一方面催化體表面的吸附作用使反應物分子富集于催化體表面,另一方面催化體降低活化能的作用加快了氧化反應的進行,提高了氧化反應的效率。與熱力燃燒不同,RCO系統利用熱能和催化體,將廢氣轉化為二氧化碳(CO2)和水(H2O),屬無焰燃燒,同時能回收廢氣分解時所釋出的熱量,當處理入口的廢氣溫度超過300℃時還會自動關閉助熱器,以節約能源。一般來說,燃料使用量可降低50%~95%,可達到節能增效,降耗減排的良好效果。

 

 



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